ARSTEK CFME16

Конфокальные микроскопы

Конфокальный микроскоп  предназначен для изучения структуры и топографии поверхности образцов любых типов и обладает значительным контрастом и пространственным разрешением по сравнению с классической световой микроскопией, что достигается использованием точечной диафрагмы, размещённой в плоскости изображения и ограничивающей поток фонового рассеянного света излучаемого не из фокальной плоскости объектива. Это позволяет получить серии изображений на различных глубинах фокальной плоскости образца (т. н. оптическое секционирование образца по глубине), и затем реконструировать трехмерное изображение образца из этих серий. Конфокальная микроскопия получила широкое применение в области биологии, медицины, материаловедения и физике полупроводников.
Сочетание конфокальной оптической системы, высокоточных приводов перемещения и алгоритма работы микроскопа обеспечивают построение высокоточной модели поверхности образца. А программное обеспечение микроскопа позволяет выполнять обработку и анализ данных о поверхности образца по всем 3м координатам и включает в себя как простые инструменты измерения (геометрические измерения), так и более сложные (параметры шероховатости поверхности).

Особенности:

Представляет собой высокоскоростной конфокальный лазерный сканирующий микроскоп для проведения высокоточных и надежных трехмерных измерений топографии поверхности. Получение конфокального микроскопического изображения в реальном времени достигается за счет использования быстрых сканирующих оптических модулей и алгоритмов обработки данных. Данная система является перспективным решением для измерения и проверки трехмерных микроскопических структур, таких как полупроводниковые подложки, FPD панели, MEMS устройства, стеклянные подложки и просто различные поверхности.

Отличительные особенности:

    - Неразрушающий оптический 3D-контроль с высоким разрешением;
    - Получение конфокального изображения в реальном времени;
    - Различное оптическое увеличение для наблюдаемой области;
    - Одновременная конфокальная микроскопия и микроскопия белого света;
    - Автоматический поиск усиления для тонкой фокусировки;
    - Компенсация наклона;
    - Простота анализа полученных данных;
    - Высокоточное и высокоскоростное измерение высоты;
    - Возможность качественного анализа толщины полупрозрачных материалов;
    - Отсутствие пробоподготовки;
    - Сшивание изображений для анализа больших областей.

Области применения:

Конфокальный лазерный сканирующий микроскоп  является идеальным решением для измерения высоты, ширины, глубины, углов, площади, а также объемной визуализации микроструктур, таких как:

    - Полупроводники – IC подложки, высота выступов/ступеней и проволочных петлей, анализ дефектов, CPM процессы (химико-механическая планаризация);
    - Плоскопанельные дисплеи (FPD) – анализ сенсорных панелей, ITO подложек, высота разделительной колонны в ЖК-дисплее;
    - МЭМС устройства – трехмерный профиль структуры, шероховатость поверхности, подложки;
    - Стеклянные поверхности – тонкопленочные солнечные элементы, текстура солнечного элемента, анализ рисунка после лазерного воздействия;
    - Исследование материалов – анализ опорных поверхностей зажимного устройства, шероховатости и сколов;
    - Сшивание изображения.

При необходимости анализа большой области сканирования. доступно последовательное поточечное измерение мелких областей с их последующим сшиванием. Данная особенность реализована за счет использования моторизированного предметного столика и программной утилиты. После сшивания полученное изображения может быть проанализировано как единое целое со всеми доступными функциями.

ARSTEK CFME16 – это 3D прибор для измерений, позволяющий сделать выбор между прибором с конфокальной и интерферометрической системой, включающий в себя все преимущества обоих систем.

В зависимости от задач пользователя может быть выбран конфокальный микроскоп или интерферометр белого света со способностью проводить измерения как гладких, так и очень рельефных образцов, не только с сильными, но и со слабыми отражательными способностями, быстро и не повреждая их.

В любом из приборов скорость измерения и разрешение достаточно на высоком уровне, и, при необходимости, есть возможность расширить измеряемое поле. 6ти гнездный револьвер объективов способен быстро менять одновременно разные объективы посредством поворота. Микроскопы нашли свое применение в исследовательских целях и при разработке продукта, а также для контроля продукта в процессе производства.

К преимуществам можно отнести компактность систем, хорошее соотношение цены и качества, мощное аппаратное и программное обеспечение, экономичность и эффективность, долговечность, интуитивное использование при быстрой и детальной оценке результатов.

По принципу измерения конфокального микроскопа свет на объекте фокусируется точечно, отражается и снова точечно отображается на детекторе. Когда объект расположен в фокусе, детектор фиксирует максимальную интенсивность в этой точке. Пошаговым сдвигом фокуса микроскоп получает точную информацию о высоте. Точечный съём изображения переводится в растр. Таким образом регистрируются трехмерная топография, структура и шероховатость поверхности.

При интерферометрии белого света камера получает картину интерференции, возникающую при наложении световых волн от объекта и отражающего зеркала. При совместном применении когерентного белого света с пошаговым смещением фокуса достигается очень высокое вертикальное разрешение, что позволяет успешно исследовать топографию, структуру и шероховатость поверхности.

Основные возможности ARSTEK CFME16: