MICRO 3D confocal profilometer

MICRO 3D конфокальный микроскоп профилометр с 3 моторами осей X Y Z

Трехмерная измерительная система с высокими характеристиками:

• 3 моторизованных оси высокого разрешения (X, Y, Z)
• Компьютер и программируемый контроллер включены
• Пакет программ трехмерной обработки для точечного и линейного конфокального хроматического датчика
• Доступные размеры сканирования: 100 х 100 мм / 200 х 200 мм / 300 х 300 мм

Одноканальный конфокальный хроматический / интерференционный датчик профилометр микроскопа  

Бесконтактный хроматический конфокальный датчик
В том числе:

• • Штатив
• • 1 оптическая конфокальная ручка датчик с сенсором
• • 1 волокно
• • 1 контроллер датчика
• • 1 программное обеспечение

Цели и область применения:

• Измерение размеров, ширины и длины, формы, диаметра, эксцентриситета и округлости
• Измерение зазора:  воздушный, масляный, смазочный
• Позиционирование, наведение кромки, наклон и центрирование
• Измерение шероховатости, прогиба, кривизны и волнистости
• Поверхностные измерения формы, профиля, контура, канавки, шва, валика, зазора
• Определение пути, расстояния, положения и перемещения
• Измерение толщины: толщина полосы, толщина листа, толщина пленки, толщина резины, толщина изолятора, толщина слоя, толщина пластины
• Многослойные измерения толщин
• Измерение удара, деформации и смещения
• Определение уровня наполнения
• Замер хода и высоты подъема

Хроматическая конфокальная микроскопия, профилометрия и измерения

Основанные на оптическом принципе, который использует хроматическое кодирование пространства, датчики позволяют выполнять измерения практически на любых материалах с исключительной точностью.

Конфокальные микроскопные датчики находят применение в большинстве секторов промышленности, будь то высокоточные приборы в метрологии или исследовательских лабораториях или инструменты контроля качества на производственных линиях.

Разработанные для использования в промышленных условиях, различные диапазоны датчиков будут привлекательны для интеграторов за их простое взаимодействие с измерительными и контрольными машинами благодаря библиотекам динамической связи, поставляемым с каждым прибором.

Оптический принцип конфокальной хроматической микроскопии

Конфокальные оптические датчики основаны на инновационном принципе конфокальной хроматической визуализации.

Падающий пучок белого света отображается через хроматический объектив в континуум монохроматических изображений вдоль оси Z, обеспечивая таким образом «цветовое кодирование» вдоль оптической оси.

Этот обратно рассеянный луч проходит через фильтрующее отверстие в спектрограф, который определяет длину волны, идеально сфокусированную на объекте, а затем точно определяет его положение в измерительном поле.

Конфокальная хроматическая визуализация обеспечивает доступ к надежным, точным и воспроизводимым измерениям размеров с чрезвычайно высоким разрешением.

Интерферометрия белого света

Что такое спектральная конфокальная интерферометрия?

Точность измерения в бесконтактных профилометрических методах, как правило, ограничена механическими колебаниями и неточностями позиционирования таблицы микросканирования. Чтобы избавить измерение от этих внешних возмущений, был разработан новый нечувствительный к вибрации интерферометрический метод. С этим новым типом интерферометрической системы потенциальная субнанометрическая точность интерферометрической микроскопии является эффективной.

Принцип спектральной конфокальной интерферометрии

Интерферометрический метод основан на спектроскопическом анализе интерферограмм белого света.

Он заключается в анализе интерференционного сигнала, наблюдаемого на спектрометре, для измерения толщины воздушного зазора между эталонной пластиной и образцом. Особенность системы заключается в фиксации опорной пластины на проверяемой мишени. Поскольку эталонная пластина и образец закреплены вместе, механические колебания не влияют на измерения.

Кроме того, этот датчик можно использовать для измерения прозрачных пленок, которые слишком тонки, чтобы использовать технологию хроматической конфокальной микроскопии. Минимальная измеряемая толщина составляет 0,4 микрона.