Арстек АСМ05

ОСОБЕННОСТИ:

12-дюймовый атомный микроскоп для полупроводниковой промышленности - LSCL

Трехосевой независимый замкнутый цикл сканирования уровня напряжения для достижения крупномасштабного высокоточного сканирования;

Трехосевое независимое сканирование, XYZ не влияют друг на друга, очень подходит для трехмерного обнаружения материала и топографии;

Моторизованное управление столом перемещения образца и подъемным столом, которые можно произвольно запрограммировать на несколько положений для реализации быстрого автоматического обнаружения;

Конструкция сканирующей головки портального типа, мраморное основание, столик с вакуумной и магнитной адсорбцией;

Двигатель автоматически управляется интеллектуальным методом вставки иглы с пьезоэлектрическим керамическим автоматическим обнаружением для защиты зонда и образца;

Мощное вспомогательное оптическое позиционирование микроскопа, наблюдение в реальном времени и позиционирование зонда и области сканирования образца;

Пьезоэлектрическая сканирующая ступень замкнутого цикла не требует нелинейной коррекции, а точность нанометровой характеристики и измерения превышает 99,5%.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ:

Рабочий режим: режим постукивания, контактный режим

Дополнительный режим: трение, фаза, магнитный или электростатический

Кривая силы: кривая силы F-Z, кривая RMS-Z

Метод сканирования XY: метод приближения образца, закрытый контур пьезоэлектрического переводного столика

Метод сканирования Z: метод приближения проблемы

Диапазон сканирования XY: закрытый контур 100 мкм × 100 мкм

Диапазон сканирования Z: 5 мкм

Разрешение сканирования: закрытый контур Направление XY 0,5 нм, направление Z 0,05 нм

Стабильный столик XY: привод двигателя, точность перемещения 1 мкм

Диапазон перемещения XY: 100 × 100 мм (опционально 200 × 200 мм, 300 × 300 мм)

Стабильный столик образца: диаметр 100 мм (опционально 200 мм, 300 мм)

Вес образца ≤ 0,5 кг

Столешница с подъемом по оси Z: управление приводом двигателя, мин. шаг 10 нм

Z поднятый Диапазон перемещения скамьи: 15 мм (опционально 20 мм, 25 мм)

Оптическое расположение: 5X len (опционально 10X/20X)

Камера: 5-мегапиксельная цифровая ПЗС

Частота сканирования: 0,6 Гц-30 Гц

Угол сканирования: 0-360°

Операционная система: Windows