Арстек АСМ03

ОСОБЕННОСТИ:

Легкая конструкция из алюминиевой рамы и разборная конструкция делают переноску и обучение легкими и удобными.

Сканирующая головка и предметный столик (стол XY) разработаны вместе с высокой стабильной производительностью.

Устройство точного лазерного обнаружения и выравнивания зонда делает настройку лазера и замену зонда простой и легкой.

Интеллектуальный метод автоматического подвода: шаговый двигатель перемещает образец вертикально близко к зонду, избегая случайных столкновений кантилевера.

Регулируемый серводвигатель для перемещения образца, приближающегося к наконечнику, вручную или автоматически, чтобы выполнить точное позиционирование области сканирования.

Грубое подвод образца к наконечнику может выполняться вручную или автоматически.; для точного позиционирования области сканирования

Камера с 4-кратным увеличением позволяет проверять кантилевер и позиционировать образец: изображение всегда фокусируется на кантилевер и, следовательно, позволяет легко наблюдать за поверхностью образца

Пружинная подвеска гарантирует хорошую производительность для виброизоляции

Интегрированная коррекция нелинейности сканера обеспечивает точность измерения в пределах 98%.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ:

Режим работы: контакт или постукивание (дополнительные режимы: трение, фаза, магнитный или электростатический)

Размер образца: Φ≤90 мм, H≤20 мм

Диапазон сканирования: 20 мкм в направлении XY, 2 мкм в направлении Z. (дополнительный сканер до 100 мкм)

Разрешение сканирования: 0,2 нм в направлении XY, 0,05 нм в направлении Z.

Диапазон перемещения образца: ±6,5 мм.

Ширина импульса приближения шагового двигателя: 10±2 мс.

Точки выборки изображения: 512×512.

Оптическое увеличение 4X, оптическое разрешение 2,5 мкм. (опциональное увеличение 10X)

Частота сканирования 0,6 Гц ~ 4,34 Гц, угол сканирования 0°~360°.

Управление сканированием: 18-битный ЦАП в направлении XY, 16-битный ЦАП в направлении Z.

Выборка данных: 14-битный АЦП, двойная 16-битная АЦП многоканальная синхронная выборка.

Обратная связь: цифровая обратная связь DSP.

Частота выборки обратной связи: 64,0 кГц.

Интерфейс компьютера: USB3.0/2.0.